半自動四探針測試儀
一.功能描述：
半自動四探針測試儀
四點探針標準測試方法，采用步進系統自動控制探頭與樣品接觸，減少人為因素對測試結果的影響；參照A.S.T.M 標準；測量方塊電阻、電阻率、電導率數據、PC軟件采集和數據處理實現自動點測模式或手動點測模式，同一位置的重復測試或多點的面電阻測量，報表輸出數據統計分析；提供標準校準電阻件.
二.適用范圍：
半自動四探針測試儀
晶圓、非晶硅/微晶硅和導電膜電阻率測量；選擇性發射極擴散片；表面鈍化片；交叉指樣PN結擴散片；新型電極設計，如電鍍銅電阻測量等；半導體材料分析，鐵電材料，納米材料，太陽能電池，LCD，OLED，觸摸屏等.
規格型號
FT-3120A
FT-3120B
FT-3120C
FT-3120D
1.電阻
10^-3～2×10^4Ω
10^-5～2×10^5Ω
10^-6～2×10^5Ω
10-4～1×107Ω
2.方塊電阻
10^-3～2×10^4Ω/□
10^-5～2×10^5Ω/□
10^-6～2×10^5Ω/□
10-4～1×107Ω/□
3.電阻率
10^-4～2×10^5Ω-cm
10^-6～2×10^6Ω-cm
10-7～2×106Ω-cm
10-5～2×108Ω-cm
4.測試電流
0.1μA.μA.0μA，100μA，1mA，
10mA，100mA
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
10mA ---200pA
5.電流精度
±0.1%
±2%
6.電阻精度
≤0.3%
≤10%
7.PC軟件操作
PC軟件界面：電阻、電阻率、電導率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、數據管理分析：過程數據，大、小值，均值，方差，變異系數，樣品編號，測試點數統計報表生成等
8.探針范圍：
探針壓力為100-550g；依據樣品接觸需要手動調節
9.探針
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；機械游移率：≤0.3%
圓頭銅鍍金材質，探針間距1mm；2mm；3mm選配，其他規格可定制
10.可測晶片
尺寸選購
晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）；
方形片：大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式
自動或手動單點模式
12.加壓方式
測量重復性：重復性≤3%
13.安全防護
具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報
14.測試環境
實驗室環境
15.電源
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗：<100W
16.選購項目
電腦和打印機
三.技術參數：
半自動四探針測試儀
